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干泵
LR/HR/UR Series

干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音，全機種都能適用。關于CEO-SHOCK的詳細信息，請從關聯情報中瀏覽。愛發科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養?

特點

• LR Series: 低溫領域均熱化
  針對于惰性氣體的排氣增加,特別是為了提高處理能力,縮短排氣時間
• HR Series/UR Series: 高溫領域均熱化
  CVD、蝕刻法等發生時，升華性排氣物質的可以以氣體狀態排出
• 1000msec以內的瞬停對策
• 可以對應CE

用途

• 活性氣體（CVD、干腐蝕等）
• 惰性氣體排氣（濺射、蒸著、熱處理等）
• 排氣時間縮短（LR Series)
• 粉體發生時的過程排氣（Si單結晶提高等）
• 輔助排氣泵（漩渦分子泵、機械泵的輔助排氣）愛發科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養?

式樣

*下單時請使用電壓。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、請不要在200Pa以上的吸入圧下連續運轉。泵的溫度異常時聯鎖會運作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以選擇是否表表面處理。
*吸氣口為JIS法蘭盤是標準。CE對應場合為NW型。
*1 用途可用的氣鎮式樣也可以報價。

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*下單時請使用電壓。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、請不要在200Pa以上的吸入圧下連續運轉。泵的溫度異常時聯鎖會運作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以選擇是否表表面處理。
*吸氣口為JIS法蘭盤是標準。CE對應場合為NW型。
*1 用途可用的氣鎮式樣也可以報價。

■消音器（選項）

■型號適合表