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英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修

概述

Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
  
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應用

• 負載鎖
• 輸送
• 計量
• 平版印刷
• PVD 制程
• PVD 預清潔
• RTA
• 剝離/灰化
• 刻蝕
• 植入源
• HDP CVD
• RTP
• SACVD
• MCVD
• PECVD
• LPCVD
• ALD

功能和優勢

• 優化了設施消耗。
• 無需預防性維護。
• 懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
• 在節省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
• 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
• 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
• 整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

技術數據

  
所有數字均為無氣鎮時的典型值。

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